RLS seriyalı RF enerji təchizatına uyğunlaşdırıla bilər və plazma aşındırma, örtük, plazma təmizləmə, plazma dequmming və digər proseslərdə geniş istifadə olunur. Tək istifadə edildikdə, digər istehsalçıların RF enerji təchizatı ilə birlikdə istifadə edilə bilər.