RHH seriyası RF enerji təchizatı

RHH Series RF Enerji Təchizatı Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

RHH seriyalı RF enerji təchizatı müştərilərə daha böyük güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli reaksiya ilə RF enerji təchizatı ilə təmin etmək üçün yetkin RF istehsal texnologiyasına əsaslanır. Faza ilə təyin edilə bilər, nəbzlə idarə oluna bilər, rəqəmsal tənzimləmə və digər funksiyalar. Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənaye, düz panel ekran sənayesi, yarımkeçirici sənaye, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.
Tətbiq edilə bilən proseslər: plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD), plazma aşındırma, plazma təmizləmə, radiotezlik ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsinin püskürtülməsi, reaktiv püskürtmə və s.

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Bizə e-poçt göndərin

Xüsusiyyətlər

● Yarım kərpic və rəf montaj üslubları
● Rahat və zəngin əməliyyat menyusu ilə tam rəqəmsal idarəetməni qəbul edin
● Tezliyin tənzimlənməsi, nəbz və nəbz sinxronizasiyası funksiyaları
● CEX faza sinxronizasiya funksiyası ilə
● Mükəmməl qoruma funksiyası

Məhsul təfərrüatı

Giriş	Giriş gərginliyi: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Xüsusi spesifikasiyalar fərdiləşdirilə bilər)
Giriş	Giriş tezliyi: 47~63Hz
Çıxış	Çıxış tezliyi: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Tuning diapazonu: ±5%
	Çıxış gücü: 1.5~5kW
	Çıxış gücünün tənzimləmə diapazonu: 1~100%
	Çıxış empedansı: 50Ω+j0
	Çıxış interfeysi: N növü
	Çıxış rejimi: davamlı, nəbz
	Pulse tezliyi: 100Hz ~ 100kHz
	İş dövrü: 5~95%
Performans indeksi	Güc faktoru: 0.98
	Tezlik sabitliyi dəqiqliyi: ±0,005%
	Effektivlik: 75% (nominal məhsulda)
	Harmonik: ＜-45dBc
	Səhv: ＜-50dBc
	Xarici idarəetmə interfeysi: analoq kəmiyyət, rabitə və sinxronizasiya
	Rabitə rejimi: Standart RS485 rabitə interfeysi; Opsiyonel Ether CAT, sənaye Ethernet və s.
Qeyd: məhsul yeniliklər etməyə davam edir və performans yaxşılaşmağa davam edir. Bu parametr təsviri yalnız istinad üçündür.