RF enerji təchizatı
-
RLS seriyası RF enerji təchizatı
RLS seriyalı RF enerji təchizatı cari sabit və etibarlı güc gücləndiricisini və şirkətin əsas DC idarəetmə sistemini qəbul edir ki, məhsul çox sabit performansa və yüksək məhsul etibarlılığına malikdir.Çin və İngilis ekran interfeysini qəbul edin, işləmək asandır.Əsasən fotovoltaik sənaye, düz panel ekran sənayesi, yarımkeçirici sənaye, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.
-
RMA Series Matchers
RLS seriyalı RF enerji təchizatına uyğunlaşdırıla bilər və plazma aşındırma, örtük, plazma təmizləmə, plazma dequmming və digər proseslərdə geniş istifadə olunur.Tək istifadə edildikdə, digər istehsalçıların RF enerji təchizatı ilə birlikdə istifadə edilə bilər.
-
RHH seriyası RF enerji təchizatı
RHH seriyalı RF enerji təchizatı müştərilərə daha böyük güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli reaksiya ilə RF enerji təchizatı ilə təmin etmək üçün yetkin RF istehsal texnologiyasına əsaslanır.Faza ilə təyin edilə bilər, nəbzlə idarə oluna bilər, rəqəmsal tənzimləmə və digər funksiyalar.Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənaye, düz panel ekran sənayesi, yarımkeçirici sənaye, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.
Tətbiq edilə bilən proseslər: plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD), plazma aşındırma, plazma təmizləmə, radiotezlik ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsinin püskürtülməsi, reaktiv püskürtmə və s.