MSB Seriyası Orta Tezlikli Püskürən Enerji Təchizatı
-
MSB Seriyası Orta Tezlikli Püskürən Enerji Təchizatı
RHH seriyalı RF enerji təchizatı müştərilərə daha böyük güc, daha yüksək dəqiqlik və sürətli reaksiya ilə RF enerji təchizatı ilə təmin etmək üçün yetkin RF istehsal texnologiyasına əsaslanır.Faza ilə təyin edilə bilər, nəbzlə idarə oluna bilər, rəqəmsal tənzimləmə və digər funksiyalar.Tətbiq olunan sahələr: fotovoltaik sənaye, düz panel ekran sənayesi, yarımkeçirici sənaye, kimya sənayesi, laboratoriya, elmi tədqiqat, istehsal və s.
Tətbiq edilə bilən proseslər: plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD), plazma aşındırma, plazma təmizləmə, radiotezlik ion mənbəyi, plazma diffuziyası, plazma polimerləşməsinin püskürtülməsi, reaktiv püskürtmə və s.