Depozit
Anlayışlar əldə edin və inkişaf prosesini sürətləndirin.
Advanced Energy kritik nazik təbəqənin çökmə tətbiqləri və cihaz həndəsələri üçün enerji təchizatı və nəzarət həlləri təqdim edir.Vafli emal problemlərini həll etmək üçün bizim dəqiq gücə çevrilmə həllərimiz sizə güc dəqiqliyini, dəqiqliyi, sürəti və prosesin təkrarlanmasını optimallaşdırmağa imkan verir.
Biz sizə plazma prosesini daha yaxşı idarə etməyə imkan verən geniş spektrli RF tezlikləri, DC enerji sistemləri, fərdiləşdirilmiş güc çıxış səviyyələri, uyğun texnologiyalar və fiber-optik temperatur monitorinq həllərini təklif edirik.Biz həmçinin proses haqqında məlumat vermək və inkişaf prosesini sürətləndirmək üçün Fast DAQ™ və məlumatların toplanması və əlçatanlıq dəstimizi inteqrasiya edirik.
Ehtiyaclarınıza uyğun həlli tapmaq üçün yarımkeçirici istehsal proseslərimiz haqqında ətraflı məlumat əldə edin.
Sizin Çağırışınız
İnteqral sxem ölçülərini naxışlamaq üçün istifadə olunan filmlərdən tutmuş keçirici və izolyasiya edən filmlərə (elektrik strukturları), metal filmlərə (qarşılıqlı əlaqə) çöküntü prosesləriniz yalnız hər bir xüsusiyyət üçün deyil, bütün vafli üzərində atom səviyyəsində nəzarət tələb edir.
Quruluşun özündən başqa, yatırdığınız filmlər yüksək keyfiyyətli olmalıdır.Onlar istənilən taxıl quruluşuna, vahidliyə və uyğun qalınlığa malik olmalı və boşluqdan azad olmalıdırlar - və bu, tələb olunan mexaniki gərginlikləri (sıxılma və dartma) və elektrik xüsusiyyətlərini təmin etməklə yanaşı.
Mürəkkəblik yalnız artmağa davam edir.Litoqrafiya məhdudiyyətlərini (sub-1X nm qovşaqları) həll etmək üçün öz-özünə düzülmüş ikiqat və dördlü naxış üsulları hər bir vaflidə naxışı yaratmaq və təkrarlamaq üçün yerləşdirmə prosesinizi tələb edir.
Bizim Həllimiz
Ən kritik çökmə tətbiqlərini və cihaz həndəsələrini yerləşdirdiyiniz zaman sizə etibarlı bazar lideri lazımdır.
Advanced Energy-nin RF enerji təchizatı və yüksək sürətli uyğunlaşdırma texnologiyası bütün qabaqcıl PECVD və PEALD çökmə prosesləri üçün tələb olunan güc dəqiqliyini, dəqiqliyini, sürətini və prosesin təkrarlanmasını fərdiləşdirməyə və optimallaşdırmağa imkan verir.
Konfiqurasiya edilə bilən qövs cavabınızı, güc dəqiqliyinizi, sürətinizi və tələb olunan PVD (püskürtmə) və ECD çökdürmə proseslərinin təkrarlanmasını incə tənzimləmək üçün DC generator texnologiyamızdan istifadə edin.
Faydaları
● Təkmilləşdirilmiş plazma sabitliyi və prosesin təkrarlanması məhsuldarlığı artırır
● Tam rəqəmsal idarəetmə ilə dəqiq RF və DC çatdırılması prosesin səmərəliliyini optimallaşdırmağa kömək edir
● Plazma dəyişikliklərinə və qövs idarəçiliyinə sürətli reaksiya
● Uyğunlaşan tezlik tənzimləməsi ilə çoxsəviyyəli impuls, ötürmə sürətinin seçiciliyini yaxşılaşdırır
● Maksimum işləmə müddətini və məhsul performansını təmin etmək üçün qlobal dəstək mövcuddur